微型机电系统理论及应用

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微型机电系统理论及应用



   
微型机电系统是近十年来随着微电子加工技术不断渗透到机械行业而在国际上出现的多学科交叉的新兴研究方向。美国、日本、德国等国家都将这个方向的技术列为国防安全、繁荣经济的国家关键技术而投入相当的人力和巨资予以发展研究。目前，在该领域，美国的研究水平仍处于世界领先地位。该方向主要研究微纳米级产品的设计、制造、测试等理论与技术。它的研究将导致人类知识和改造世界能力的重大突破，给国民经济和军事能力带来深远影响。它的研究成果有着广阔的应用前景。
    目前，本学科在部省经费资助下，正以微型惯性仪表及其系统为对象，深入开展基础理论研究和应用研究，并已取得了突破性阶段成果。开发研制出具有自主知识产权的硅微振动陀螺仪样品。其主要技术指标已达到国外二十世纪九十年代中期水平。"十五"正在研制军民两用的实用样机，为工程应用奠定基础。